Filmetrics F60-t 系列主要用于生产环境下的薄膜厚度自动测绘，像F50产品一样自动测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能，包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，还有可以升级到全自动晶圆传输的机型。不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。