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产品详情
全自动膜厚测量仪F60-t 
全自动膜厚测量仪F60-t
品牌 : Filmetrics
型号 : F60-t
产品介绍

     Filmetrics F60-t 系列主要用于生产环境下的薄膜厚度自动测绘,像F50产品一样自动测绘薄膜厚度和折射率,但它增加了许多用于生产环境的功能,包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机,还有可以升级到全自动晶圆传输的机型。不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜,而较长的波长则用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。


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