Filmetrics F54 系列产品集成显微成像装置，可以自动测量微观区域的薄膜厚度分布，光斑尺寸可做到1um。F54采用电动R-Theta 平台自动移动到选定的测量点，并以每秒测绘两个点的速度快速完成薄膜厚度的测绘，样品直径最大可达450毫米，F54内建数十种同心圆，矩形或线性图案模式，也可自行建立无数量限制的测量点。

      F54 连接电脑后, 可在几分钟内轻松完成设置，不同的型号主要由厚度和波长范围作为区别，通常较薄的薄膜需要用较短的波长来测量(如F54-UV) ，而较长的波长(如F54-NIR) 用来测量更厚，更粗糙或更不透明的薄膜。