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产品详情
在线厚度测量系统F30 
在线厚度测量系统F30
品牌 : Filmetrics
型号 : F30
产品介绍

     F30 系列在线厚度测量系统是监控薄膜沉积最强有力的工具,能实时测量沉积率、沉积层厚度、光学常数 (n 和 k 值) 和半导体以及电介质层的均匀性。在分子束外延和金属有机化学气相沉积镀膜中,F30可以测量平滑和半透明的,或轻度吸收的薄膜,这实际上已经包括了从氮化镓铝到镓铟磷砷的任何半导体材料。

     F32则可以配置多个探头,最多可在四个不同位置同时测量薄膜的厚度,软件和测量结果可以通过设备上的数字I/O接口进行控制和采集,F32是一款非常适合集成在自动化生产线的膜厚测量设备。

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