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产品详情
棱镜耦合仪SPA-4000 
棱镜耦合仪SPA-4000
品牌 : Sairon Tech
型号 : SPA-4000
产品介绍

棱镜耦合仪SPA-4000利用波导耦合原理,测量薄膜或体材料的折射率,薄膜厚度,热光系数以及波导损耗等,用户可选择632.8nm,830nm,1310nm,1550nm以及其它可见光和近红外光源。

主要功能:
1、薄膜及波导折射率/厚度/波导损耗测量;
2、薄膜及体材料的双折射测量;
3、体材料折射率的测量;

4、液体折射率的测量;
5、折射率随温度变化的测量分析;
6、折射率随深度变化的测量分析;

主要应用领域:
1、光波导器件芯片的制备;
2、激光晶体的制备;
3、聚合物材料的属性研究;
4、显示技术相关材料的测量;
5、光/磁存储材料的测量;
6、光学薄膜的制备;

主要测量参数:

测量对象测量内容及参数
折射率折射率测量范围1.0 - 2.45
折射率精度0.001
折射率分辨率±0.0005
厚度厚度测量范围0.4㎛ - 20㎛
厚度精度±0.5%
厚度分辨率±0.01㎛
体材料(仅测折射率)折射率精度0.0005
折射率分辨率±0.0001
厚薄膜厚度测量范围2㎛ - 150㎛
液体(仅测折射率)折射率测量范围1.0 - 2.4
折射率精度±0.0005
热光系数温度测试范围室温-150℃
波导损耗测量测量限度below 0.05dB/cm

可测量的薄膜和衬底材料类型:

硅、砷化镓、玻璃、石英、GGG、蓝宝石、锂酸铌等任何光滑的衬底材料均可测量。

薄膜类型衬底类型
Silicon NitrideSilicon
Silicon DioxideSilicon OxynitrideGaAs
Low-k filmsPolymers
Quartz
PolyimidesITOGlass
Zinc SulfideTitanium DioxideSapphire
SapphireEpi GarnetGGG
PhotoresistsHolographic GelsLithium Niobate

一些材料的厚度测量范围:

薄膜类型和折射率厚度和折射率同时测量仅测量厚度
硅基上的二氧化硅(n=1.46)0.48-15mm
0.20-0.48mm
硅基上的光刻胶(n=1.63)0.42-15mm0.18-0.42mm
二氧化硅上的光刻胶(n=1.63)0.70-15mm0.30-0.70mm
硅基上的聚酰亚胺(n=1.72)0.38-15mm0.15-0.38mm
二氧化硅上的聚酰亚胺(n=1.72)
0.50-15mm0.16-0.50mm
硅基上的氮氧化硅(n=1.80)0.35-15mm
0.14-0.35mm
二氧化硅上的氮氧化硅(n=1.80)0.45-15mm0.13-0.45mm
硅基上的氮化硅(n=2.0)
0.32-15mm0.12-0.32mm
二氧化硅上的氮化硅(n=2.0)0.30-15mm
0.15-0.30mm


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